Selain menggunakan tekanan untuk mengukur laju alur fluida, beberapa jenis fill rite flow meter memanfaatkan panas atau kalor yang dimiliki oleh fluida untuk menentukan laju alirnya.

Cara kerja dari flow meter ini adalah adanya termocouple yang terpasang pada bagian dalam flow meter untuk memberikan signal terhadap fluida yang melewati flow meternya. Kemudian sinyal ini dirubah menjadi sebuah angka yang menentukan laju alir fluida tersebut.

Flow meter jenis ini disebut dengan Thermal Mass Flow Meter. Di Katalog flow meter fill rite, produk yang memiliki kemampuan thermal mass flow meter adalah tipe 820